光電光學(xué)車(chē)間項目 百萬(wàn)級凈化無(wú)塵車(chē)間
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 :
(1) 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過(guò)濾器(潔凈級別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行最后一級過(guò)濾。為保護終端過(guò)濾器和延長(cháng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。
(2) 根據潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內的微粒從回風(fēng)口排走。
(3) 有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。
(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。
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(7) 潔凈室內有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區氣流的下風(fēng)側,以減少對室內的污染。